四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）。
四探針測試儀由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
四探針電阻測試儀的技術指標：
1.方塊電阻范圍：10-4～2×103Ω/□
2.電阻率范圍：10-5～2×104Ω-cm
3.測試電流范圍：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA
4.電流精度：±0.2%讀數
5.電阻精度：≤0.3%
6.顯示讀數：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式: 普通單電測量
